表面淬火由于淬硬层薄，一般说来变形不大。但对于某些零件，由于加热速度极快，冷却也较快，产生的内应力较大，也会产生弯曲，挠曲，椭圆等变形，尤其将淬透层相对地加深，或温度过高则更易变形，有时还造成淬火裂纹。

       表面加热淬火会引起中孔的收缩。例如将内螺纹量规，中孔样圈等中孔零件的内孔表面进行高频淬火时，一般发现内孔收缩，外径100mm，内径40mm，高40mm的花键内孔量规（材料CrMn钢）高频淬火后，中孔可有0.04~0.08mm的收缩(淬硬层深度5～8mm)。如果将中孔零件的外表面加热淬火，当零件较薄或淬火加热较深时，中孔也收缩。产生这种中孔收缩的原因，主要是由于硬化部分与非硬化部分的质量体积不同而产生的压缩应力，使内表层硬化膨胀时向孔的中心方向膨胀，因而收缩了孔径，后者则是由于外表层急冷收缩的热应力使内孔塑性压缩所致。